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SPIN200i匀胶机

SPIN200i匀胶机图片
供 应 商: 武汉迈可诺科技有限公司 
公司地址: 中国湖北省武汉市武珞路628号亚贸广场B座
联 系 人: 钟星
订货量(台)价格(元/台)
≥1面议
 
SPIN200i匀胶机的详细说明
是否有现货:认证:CE
品牌:SPS自动化程度:手动
空气源:0-1(MPA)最小吐出量:0.01(ml)
吐出时间调节:0.001-99.99(S)加工定制:
电源电压:22V功率:500W
型号:SPIN200i-NPP规格:
商标:SPS包装:纸箱
匀胶机(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater&Spin Processor) 行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、甩胶机1、匀胶机工作原理:匀胶机(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。2、匀胶机型号及技术参数如下:
型号SPIN150iSPIN200iPOLOS300POLOS450POLOS600
基片范围直径160mm or 4ʺ方片直径260mm or 6ʺ方片直径360mm or 8ʺ方片直径460mm or 350mm方片直径600mm or 430mm方片
程序段数无限制无限制无限制无限制30个程序
操作步数无限制无限制无限制无限制90个步骤
旋转速度0-12,000 rpm ±1rpm steps0-12,000 rpm ±1rpm steps0-12,000 rpm ±1rpm steps0-1500rpm ±1rpm steps0-1,500 rpm ±1rpm steps
旋转精度±0.1 rpm±0.1 rpm±0.1 rpm±0.1 rpm±0.1 rpm
旋转方向顺时针、逆时针、交换摆顺时针、逆时针、交换摆顺时针、逆时针、交换摆顺时针、逆时针、交换摆顺时针、逆时针
最大加速度30,000 rpm/sec30,000 rpm/sec30,000 rpm/sec≤1500rpm时取决于负载500 rpm/sec
旋转时间无限制*,± 0.1 seconds steps无限制*,± 0.1 seconds steps无限制*,± 0.1 seconds steps无限制*,± 0.1 seconds steps1 to 999 sec/step
腔体直径202 mm302 mm402 mm502 mm642mm
外形尺寸(w*h*d )274 x 250 x 451 mm380 x 307 x 559mm430 x 310 x 650mm795 x 638 x 922mm800 x 1,450 x 1,650mm
触屏控制全彩触屏控制全彩触屏控制全彩触屏控制全彩触屏控制全彩触屏控制
设备重量14Kg20Kg32Kg75Kg
电源参数220V,50/60 Hz220V,50/60 Hz220V,50/60 Hz220V,50/60 Hz220V,50/60 Hz
三、匀胶机的特点:1、该匀胶机采用德国先进技术:2、匀胶机采用NPP天然聚丙烯材质构造设计,这种材质有很好的抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;3、匀胶机真空Chuck经精密加工制成,具有良好的光洁度及平整度,保证晶圆片被很好地吸附,主轴采用进口微型单列向心球轴承支撑,轴向有弹性垫及调整垫,可保障主轴具有较高的精度。4、在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均匀,保证通过调节转速调节涂覆厚度。5、匀胶机腔体配备吹氮(N2)功能,或压缩空气、氮气压力可通过调压阀和节流阀实现调节,与配套真空泵一同使用。
 
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